文山音速噴嘴流量元件-molbloc-S-美國福祿克FLUKE
基于音速噴嘴的molbloc,氣流最高可達5,000 slm
molbloc-S® 是一種高精確度的傳送標準,適用于校準其他傳送標準或過程流量計和控制器。molbloc-S 與 molbox1+ 或 molbox RFM™ 終端配合,可擴展 molbloc/molbox™ 校準系統(tǒng)的量程,并且為中高流量提供出眾的準確度。現有的 molbox1 終端配備了 4.0 或更高版本的嵌入軟件,而所有 molbox1+ 終端都能與 molbloc-S 結合使用。
特性一覽
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對于 N2 和空氣,覆蓋高達 5,000 slm 的量程
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可與 molbox1+ 或現有的 molbox1 和 molbox RFM 質量流量終端以及 COMPASS 軟件結合使用
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重量校準支持可靠的流量文氏管(音速)噴嘴操作原則
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污染物敏感度極低
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測量不確定度:
對于 molbox1+,可達到 ±0.125% 讀數
對于 molbox1,,可達到 ±0.2% 讀數
對于 molbox RFM,可達到 ±0.5% 讀數
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可以使用空氣、N2、Ar、H2、He、N2O 和其他校準氣體,可以對環(huán)境氣體進行潮濕氣體密度補償
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利用 molbox1+S 或其他 molbox 型號加上真空,可實現卓越的量程可調性(10:1 調節(jié))。
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冗余的上游絕壓測量使用 molbox 絕壓傳感器來降低不確定度并提高可靠性
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完整的氣體溫度調節(jié)和測量
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連續(xù)、實時的讀數,就像傳統(tǒng)的 molbloc-L 層流元件一樣
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可以實現全自動
molbloc-S量程
通過 molbloc-S 的質量流速可直接與上游絕壓以及獨立的下游壓力或壓力差成比例。molbloc-S 流量量程由 molbloc 的壓力到流量轉化率 KF 定義。KF 的單位為 sccm/kPa,它定義了質量流量與傳送到 molbloc-S 的上游絕壓之間的關系。molbloc-S 校準工作是針對與 20 到 200 kPa(3 到 30 psia)、50 到 500 kPa(7 到 70 psia)或 200 kPa 到 2 MPa(30 到 300 psia)的上游壓力相對應的量程執(zhí)行的。
為了使流量測量有效,molbloc-S 文丘管噴嘴處的流量是最重要的,,例如,氣體速度等同于本地音速。當背壓率足夠低時可以達到關鍵流量,或保持 BPR 不變(molbloc-S 下游絕壓除以上游絕壓)。關鍵流量可接受的 molbloc-S BPR 值的上限介于 0.5 和 0.9 之間,具體取決于流量的雷諾數。
由于通過 molbloc-S 的質量流量與上游絕壓成比例,molbloc-S 的流量量程在應用中的限值受 BPR 限值的影響。要使 molbloc-S 元件的量程最大化,必須在下游連接一個真空泵,,減少流動時的下游壓力。當下游壓力足夠低時,,就可以將上游壓力以及質量流速調節(jié)到針對 molbloc 校準類型的最小值,而不再受 BPR 限值的限制。如果 molbloc-S 使用大氣壓作為下游(無真空泵),則molbloc 所使用的上游壓力必須介于其校準類型的最大壓力到當 BPR 等于當前雷諾數下的 BPR 限值時的最小壓力之間。molbox1 終端包括了一些功能,,可測量 BPR,在 BPR 值過高時自動提示操作人員,避免在流量非關鍵時進行測量。
molbloc/molbox通用技術指標
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molbox1+
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molbox RFM
除非另行說明,否則所有技術指標均與molbox1相同。
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正常工作溫度范圍:
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15到35°C
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儲存溫度范圍:
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-25到35°C
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正常工作壓力范圍:
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20到200 kPa絕壓(3到30 psia);或50到500 kPa絕壓(7到70 psia)上游;或200到2000 kPa(30到300 psia),僅適用于molbox1+S。
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總流量量程:
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<1到5,000 slm
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入口連接:
1E1-S到1E2-S
2E2-S到2E3-S
5E3-S和1E4-S
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1/4 in. VCR™
1/2 in. VCR™
1 in. VCR™或1 in. NPT
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出口連接:
5E1-S到2E3-S
5E3-S、1E4-S
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16 mm (3/4 in.) ISO-KF型真空法蘭盤
40 mm (1 1/2 in.) ISO-KF型真空法蘭盤
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支持的氣體:
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氮氣(N2)、干空氣、潮濕空氣、氬(Ar)、一氧化碳(CO)、氦(He)、氧氣(O2)、二氧化碳(CO2)、四氟化碳(CF4)、乙烷(C2H6)、乙烯(C2H4)、三氟甲(CHF3)、六氟乙烷(C2F6)、氫氣(H2)、甲烷(CH4)、一氧化二氮(N2O)、丙烷(C3H8)、六氟化硫(SF6)、丁烷(C4H10)、八氟環(huán)丁烷(C4F8)、氙氣(Xe)
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流量測量
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范圍:
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取決于molbloc的尺寸和壓力校準量程(請參閱molbloc-S量程表格)
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所需背壓率:
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0.4到0.9,取決于雷諾數
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校準氣體:
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標準:干空氣
可選:N2(取代標準空氣校準或作為補充)、Ar、H2、He、N2O。有關這些氣體和其他氣體在特定量程內的可用性,請咨詢廠家。
*濕空氣操作需要進行干空氣校準
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molbloc-S壓力校準量程:
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低壓力(LP):
20到200 kPa絕壓(3到30 psia),,上游
標準壓力(SP):
50到500 kPa絕壓(7到70 psia),,上游
高壓力(HP):
200到2 MPa絕壓(30到300 psia),上游
* HP校準僅適用于molbox1+S終端
*流量測試技術指標在10%到100% molbloc量程內有效
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分辨率:
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±0.0015% FS
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±0.01%讀數
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精確度:
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讀數的±0.06%
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±0.30%讀數
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預測的穩(wěn)定度(一年期)
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讀數的±0.05%
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讀數的±0.2%
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測量不確定度
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讀數的±0.2%
特級校準:±0.125%讀數
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50到500 kPa時,±0.5%讀數
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型號
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描述
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1E1-S
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KF [sccm/kPa]:
10
每個molbloc-S在交付時都附帶以下內容:
· molbloc-S流元素
· 運輸和存儲箱
· 用于上游連接的可重復使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說明
· 標準壓力(SP)的標準不確定性校準,并具有空氣和經認證的校準報告。
溢價的不確定性、HP或LP壓力校準以及其他可用的校準氣體-咨詢機構或工廠。
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2E1-S
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KF [sccm/kPa]:
20
每個molbloc-S在交付時都附帶以下內容:
· molbloc-S流元素
· 運輸和存儲箱
· 用于上游連接的可重復使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說明
· 標準壓力(SP)的標準不確定性校準,,并具有空氣和經認證的校準報告。
溢價的不確定性、HP或LP壓力校準以及其他可用的校準氣體-咨詢機構或工廠。
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5E1-S
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KF [sccm/kPa]:
50
每個molbloc-S在交付時都附帶以下內容:
· molbloc-S流元素
· 運輸和存儲箱
· 用于上游連接的可重復使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說明
· 標準壓力(SP)的標準不確定性校準,并具有空氣和經認證的校準報告。
溢價的不確定性、HP或LP壓力校準以及其他可用的校準氣體-咨詢機構或工廠。
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1E2-S
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KF [sccm/kPa]:
100
每個molbloc-S在交付時都附帶以下內容:
· molbloc-S流元素
· 運輸和存儲箱
· 用于上游連接的可重復使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說明
· 標準壓力(SP)的標準不確定性校準,并具有空氣和經認證的校準報告。
溢價的不確定性、HP或LP壓力校準以及其他可用的校準氣體-咨詢機構或工廠。
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2E2-S
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KF [sccm/kPa]:
200
每個molbloc-S在交付時都附帶以下內容:
· molbloc-S流元素
· 運輸和存儲箱
· 用于上游連接的可重復使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說明
· 標準壓力(SP)的標準不確定性校準,并具有空氣和經認證的校準報告。
溢價的不確定性、HP或LP壓力校準以及其他可用的校準氣體-咨詢機構或工廠。
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5E2-S
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KF [sccm/kPa]:
500
每個molbloc-S在交付時都附帶以下內容:
· molbloc-S流元素
· 運輸和存儲箱
· 用于上游連接的可重復使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說明
· 標準壓力(SP)的標準不確定性校準,并具有空氣和經認證的校準報告。
溢價的不確定性、HP或LP壓力校準以及其他可用的校準氣體-咨詢機構或工廠。
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1E3-S
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KF [sccm/kPa]:
1000
每個molbloc-S在交付時都附帶以下內容:
· molbloc-S流元素
· 運輸和存儲箱
· 用于上游連接的可重復使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說明
· 標準壓力(SP)的標準不確定性校準,,并具有空氣和經認證的校準報告。
溢價的不確定性、HP或LP壓力校準以及其他可用的校準氣體-咨詢機構或工廠。
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2E3-S
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KF [sccm/kPa]:
2000
每個molbloc-S在交付時都附帶以下內容:
· molbloc-S流元素
· 運輸和存儲箱
· 用于上游連接的可重復使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說明
· 標準壓力(SP)的標準不確定性校準,并具有空氣和經認證的校準報告。
溢價的不確定性、HP或LP壓力校準以及其他可用的校準氣體-咨詢機構或工廠。
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5E3-S
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KF [sccm/kPa]:
5000
每個molbloc-S在交付時都附帶以下內容:
· molbloc-S流元素
· 運輸和存儲箱
· 用于上游連接的可重復使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說明
· 標準壓力(SP)的標準不確定性校準,并具有空氣和經認證的校準報告。
溢價的不確定性、HP或LP壓力校準以及其他可用的校準氣體-咨詢機構或工廠。
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1E4-S
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KF [sccm/kPa]: 10,000
每個molbloc-S在交付時都附帶以下內容:
· molbloc-S流量元素
· 運輸和存儲箱
· 用于molbloc上游連接的柔軟的,,可重復使用的VCR O形圈;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說明
· 處于標準壓力(SP)的標準不確定性校準,具有空氣和經認證的校準報告。
· 高度的不確定性、HP或LP壓力校準以及其他可用的校準氣體-咨詢機構或工廠。
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molbloc-S校準選件
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低壓20到200 kPa(3到30 psia)
molbloc上游(指定溢價或標準)
標準壓力50到500 kPa(7到70 psia)
molbloc上游(指定溢價或標準)
高壓200到2000 kPa(30到300 psia)
molbloc上游(指定溢價或標準)
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