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特點 帶有氣體采樣流量自動控制功能 LCD顯示，，現(xiàn)場狀態(tài)一目了然 實現(xiàn)小型、輕量化 可簡單地更換傳感器和采樣氣路 帶有防止傳感器單元錯誤插入的功能 可以設(shè)定多樣的維護模式 組合對應(yīng)熱分解單元與定電位電解式傳感器，，能檢測NF3等 實現(xiàn)了用PDA讀取數(shù)據(jù) 符合CE規(guī)格，，SEMI規(guī)格
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