molbox RFM是一個輔助單元，可使用molbloc-L層流和molbloc-S聲速流元件進行質量流量測量。

molbloc 流量元件通過兩個壓力連接件和一根數(shù)據(jù)線連接到 molbox RFM 上。molbox RFM 從 molbloc EEPROM 讀取校準數(shù)據(jù)，，并利用其內置的高精度參考壓力傳感器 (RPT) 測量 molbloc 的上游壓力和下游壓力。歐姆測量系統(tǒng)讀取 molbloc 鉑電阻測溫儀的電阻，然后由此計算 molbloc 溫度。利用存儲在 molbox RFM 內存中的 molbloc 校準數(shù)據(jù)、壓力、溫度和氣體屬性，可計算出通過 molbloc 的氣流流速。對于 molbloc-L 流量元件，在流量量程 10% FS 以下時，可以選擇微量程選項來提高流量測量分辨度和精確度。

molbox RFM 和 molbloc 流量元件應用廣泛，適用于需要高精確度測量低氣流的測量、測試和校準應用。對于主要考慮結構緊湊、量程可調性高、成本較低的應用來說，molbox RFM 是理想之選。第二種型號 molbox1+ 針對的優(yōu)先考慮不確定度的應用。要配置質量流量校準系統(tǒng)，請查看隨后幾頁，選擇 molbloc 和壓力相關校準，以便更好的覆蓋您的流量量程和壓力狀況。molstic 安裝系統(tǒng)和 COMPASS® for molbox 流量校準軟件可以幫您完善系統(tǒng)。

· 結構緊湊

· molbloc-L 覆蓋的流量量程從 1 sccm 到 100 slm，，而 molbloc-S 覆蓋的流量上限更是達到了 5000 slm

· 從 20 種不同的氣體中選擇

· 利用 100:1 可調性實現(xiàn)認證的測量不確定度 ±0.5% 讀數(shù)

· 內部閥門，可實現(xiàn)內置的清洗、泄漏測試和自重支持

· 包括求和、取平均值、高值/低值及偏差等高級測量函數(shù)

· 完善的前面板控制以及 RS232 和 IEEE-488 遠程通信

· 利用可由用戶設置的參考壓力和溫度狀態(tài)，，測量質量和體積流量

· 流量測量技術指標

· molbox RFM 可測量通過 molbloc 流量元件的流量。molbloc-L 的流量量程、可用工作壓力和壓力差，或者 molbloc-S 的流量量程、絕壓量程，取決于所使用的 molbloc 元件和校準選項。請參閱 molbloc-L 和 molbloc-S 量程表，了解校準和量程詳情。

· molbloc-L 量程最高可達 3E4，可通過微量程選項提高在 10% FS 以下時的分辨率和精確度。對于 1E5-L molbloc，必須使用微量程選項才能達到技術指標。

molbox RFM
	molbloc-L（量程從1E1-L到3E4-L）	molbloc-S（所有量程）
測量更新速率	1秒	1秒
范圍	到molbloc滿刻度，，取決于氣體和molbloc壓力取決于校準類型（請參閱molbloc-L量程表）	流量相對于20 kPa到200 kPa絕壓（3 psia到30 psia）或20 kPa到200 kPa絕壓（7 psia到70 psia）上游（請參閱molbloc-S量程表）
分辨率	0.01% FS	±0.01%讀數(shù)
線性	±0.23%讀數(shù)，從10%到100% FS ±0.023% FS，在10% FS以下	±0.25%讀數(shù)
重復性	±0.1%讀數(shù)，從10%到100% FS ±0.01% FS，在10% FS以下	±0.1%讀數(shù)
精確度1	±0.25%讀數(shù)，，從10%到100% FS ±0.025% FS，在10% FS以下	±0.3%讀數(shù)
預測的穩(wěn)定度2 （一年期）	±0.15%讀數(shù)，從10%到100% FS ±0.015% FS，在10% FS以下	讀數(shù)的±0.2％
測量不確定度3	±0.5%讀數(shù)，從10%到100% FS ±0.05% FS，在10% FS以下	±0.5%讀數(shù)，從50 kPa到500 kPa，±0.5%流量@ 50 kPa從20 kPa到50 kPa

具有微量程選項的molbox RFM
	molbloc-L（量程從1E1-L到3E4-L）	molbloc-L（量程僅僅是1E5)
測量更新速率	1秒	1秒
范圍	從0到molbloc滿刻度，取決于氣體和molbloc壓力取決于校準類型（請參閱molbloc-L表格）	從0到molbloc滿刻度，取決于氣體和molbloc壓力取決于校準類型（請參閱molbloc-L表格）
分辨率	0.01% FS，0.001% FS以下 10% FS	0.01% FS
線性	±0.23%讀數(shù)，從1%到100% FS；±0.0023% FS，在1% FS以下	±0.25%讀數(shù)，從5%到100% FS ±0.0125% FS，在5% FS以下
重復性	±0.1%讀數(shù)，從1%到100% FS ±0.001% FS，在1% FS以下	±0.2%讀數(shù)，從5%到100% FS ±0.01% FS，在5% FS以下
精確度1	±0.25%讀數(shù)，，從1%到100% FS ±0.0025% FS，在1% FS以下	±0.32%讀數(shù)，從5%到100% FS ±0.016% FS，在5% FS以下
預測的穩(wěn)定度2 （一年期）	±0.15%讀數(shù)，從1%到100% FS ±0.0015% FS，在1% FS以下	±0.2%讀數(shù)，從5%到100% FS ±0.01% FS，在5% FS以下
測量不確定度3	±0.5%讀數(shù)，從1%到100% FS ±0.005% FS，，在1% FS以下	±0.5%讀數(shù)，從5%到100% FS ±0.025% FS，在5% FS以下

· molbloc-S（所有量程）

· 除了沒有微量程以外，其他技術指標與 molbox RFM 相同。只要將 molbox RFM 連接到 molbloc-S 上，，就會禁用微量程傳感器。

· 1 精確度：包含線性度、遲滯和可重復性。

· 2 預測的穩(wěn)定度：典型 molbox RFM 和 molbloc 在典型環(huán)境下使用時一年內從零到范圍值的最大變化情況。由于穩(wěn)定度只能是一種預測，，因此應該根據(jù)經驗建立特定 molbox RFM 的穩(wěn)定度。

· 3 測量不確定度：molbox RFM 流量指示相對于通過 molbloc 的流量真值的最大偏差，包括精確度、穩(wěn)定度和 DHI 校準標準不確定度。molbloc 的測量不確定度技術指標僅適用于使用的是 molbloc 校準過的氣體的情況。所有 molbloc 都針對 N2 校準過。其他氣體的校準是可選的。并非所有規(guī)格的 molbloc 在所有時間，，對所有氣體都提供 DHI 校準功能。請在訂購前檢查是否可用。

型號	描述
Molbox RFM	molbox RFM參考流量監(jiān)控器包含：用戶手冊、校準證書、電源線、(2) molbox RFM到molbloc壓線、(1) molbox RFM到molbloc數(shù)據(jù)線、(2)直通壓力快速連接器
5141-100	molbox RFM, molbloc 5E1-L 10 to 100 sccm Included: · molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual · molbloc 5E1-L laminar flow element · molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L · Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male
5141-1K	molbox RFM, molbloc 5E2-L 100 to 1,000 sccm Included: · molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual · molbloc 5E2-L laminar flow element · molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L · Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male
5141-10K	molbox RFM, molbloc 5E3-L 1 to 10 slm Included: · molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual · molbloc 5E3-L laminar flow element · molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L · Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male
5141-50K	molbox RFM, molbloc 3E4-L 5 to 50 slm Included: · molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual · molbloc 3E4-L laminar flow element · molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L · Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male
5142-1K	molbox RFM-M, molbloc 5E2-L 10 to 1,000 sccm Included: · molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual · molbloc 5E2-L laminar flow element · molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L · Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male
5142-10K	molbox RFM-M, molbloc 5E3-L 0.1 to 10 slm Included: · molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual · molbloc 5E3-L laminar flow element · molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L · Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male
5142-50K	molbox RFM-M, molbloc 3E4-L 0.5 to 50 slm Included: · molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual · molbloc 3E4-L laminar flow element · molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L · Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male
5144-50K	molbox RFM-M, molblocs 5E2-L and 3E4-L10 sccm to 50 slm Included: · molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual · molbloc 5E2-L and 3E4-L laminar flow elements · molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L · Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

通用配件:

配件	描述
MFC-CB控制盒	MFC-CB控制盒包括：（2）MFC/MFM連接線套件校準線電源線操作與維護手冊校準報告
針對molbloc/molbo用戶的校準輔助軟件
molstic-L安裝系統(tǒng)
molstic-S安裝系統(tǒng)
RFM-RMK	機架安裝工具
RFM 02	微量程

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通用配件: