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儀器技術(shù)文章

涂層測厚儀測量偏差的幾種類型

 來源:東方嘉儀 www.sim-placement.com  點擊:

【外凸面的覆層測量】

見圖Fig.6

通常會顯示正偏差當(dāng)曲率半徑小于一定值時偏差會較為明顯(鐵磁性基材曲率半徑小于20mm時導(dǎo)電性基材曲率半徑小于50mm時)。


【內(nèi)凹面的覆層測量】

見圖Fig.7

通常會顯示負(fù)偏差當(dāng)曲率半徑小于一定值時偏差會較為明顯(鐵磁性基材曲率半徑小于25mm時,導(dǎo)電性基材曲率半徑小于50mm時)


【邊緣部分的覆層測量】

見圖Fig.8


通常會顯示正偏差當(dāng)A小于5mm時偏差會較為明顯。


【靠近側(cè)壁的覆層測量】

見圖Fig.9


通常會顯示負(fù)偏差當(dāng)A小于5mm時偏差會較為明顯。


【凹槽底部的覆層測量】

見圖Fig.10

通常會顯示負(fù)偏差當(dāng)D小于20mm時偏差會較為明顯。


極薄基材上的覆層測量見圖Fig.11

對于鐵磁性基材通常會顯示正偏差對于導(dǎo)電性基材通常會顯示負(fù)偏差。當(dāng)T小于0.6mm時偏差會較為明顯。當(dāng)T小于0.1mm(鐵磁性基材)或者是小于0.01mm(導(dǎo)電性基材)無論是否校準(zhǔn)測量都不能實現(xiàn)。


【噴丸表面上覆層的測量】

見圖Fig.16

a對于Rz值小于20μm的噴丸面上的覆層測量。先在無覆層的基材上面測量十次進(jìn)行較零接著將涂層試片覆蓋其上測量五次進(jìn)行校正則測量校準(zhǔn)完成需要記住的是即便完成了測量校準(zhǔn)在實際測量中仍然必須多次測量取平均值。

b對于Rz值大于20μm的噴丸面上的覆層測量。此時的情況較為復(fù)雜需要先在同樣材質(zhì)的具有光滑表面(未噴丸處理)的基材上進(jìn)行校準(zhǔn)接著在無覆層的噴丸表面上進(jìn)行測量十次取平均值然后再再實際工件的覆層上同樣進(jìn)行十次測量再取平均值這兩個平均值之差的絕對值就是覆層厚度。



“軟”覆層的測量

某些覆層質(zhì)地比較軟、比較疏松探頭接觸上之后可能會有微小的凹坑從而影響測量。此時可以將一個確知厚度的涂層試片覆蓋其上然后將探頭放在這層試片上得出值減去涂層試片的值即是覆層厚度值。提示:使用30~50μm的涂層試片較為合適。


“熱”覆層的測量

某些情況下不待完全冷卻就需要對覆層進(jìn)行測量。此時的溫度通常超過60℃一方面熱量會傳導(dǎo)給探頭的樹脂支撐環(huán)我們知道支撐環(huán)里面有線圈或磁芯而它們所產(chǎn)生的感應(yīng)場會因為過高的溫度產(chǎn)生變化;另一方面我們同樣知道基材本身的磁場和電渦流場也會因為溫度的過高變化而產(chǎn)生細(xì)微的畸變。

因此在這種情況下我們要解決兩個問題:一是盡量降低熱量的傳導(dǎo)這里我們可以用到高溫護(hù)墊,將其安裝在探頭上;二是需要更敏感的探頭以便辨析溫度帶來的基材本身的磁場或電渦流場的畸變。當(dāng)然,表面粗糙度儀這往往意味著儀器需要提供更高的精度。


介紹一種簡單可靠的應(yīng)用(以外凸面為例)

先在無覆蓋層的外凸面工件進(jìn)行測量按理本應(yīng)顯示為零但從以上的介紹可知很可能讀值并不為零而是正偏差的某個數(shù)此時并非必須較零(重要的事情說三遍)否則強(qiáng)行較零可能使儀器出廠時校正的參照曲線嚴(yán)重偏移、或者干脆無法較到零位。

在此情況下只需記下這個正偏差值然后測量實際覆層將取得的讀值減去這個正偏差值即為覆層的實際讀值。

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