南京微壓活塞式壓力計(jì)-FPG8601-美國福祿克FLUKE

基準(zhǔn)級微壓活塞壓力計(jì)，提供微壓溯源性
FPG8601是基準(zhǔn)級微壓活塞壓力計(jì)，解決了活塞式壓力計(jì)在微小壓力范圍內(nèi)以極小的不確定度提供長期溯源性的需求。

優(yōu)異的測量不確定度
該系統(tǒng)在表壓和絕壓模式下覆蓋的量程均為0（絕壓為0.5 Pa）～15 kPa（2.2 psi）。測量不確定度為讀數(shù)的±30 ppm與一個(gè)非常小的門限誤差的組合，足夠小以能夠校準(zhǔn)量程低達(dá)130 Pa (1 Torr，0.5 in. H2O)甚至13 Pa (100 mTorr，0.05 in. H2O)的各種微壓傳遞標(biāo)準(zhǔn)。 DHI有一份完整的不確定度分析報(bào)告（請參見DHI技術(shù)文章 2090TN05）說明FPG8601的測量不確定度。該儀器的穩(wěn)定度取決于碳化鎢活塞組和不銹鋼砝碼，所以FPG8601的校準(zhǔn)間隔與傳統(tǒng)的活塞式壓力計(jì)相同，并沒有其它特殊的維護(hù)要求。除了卓越的計(jì)量性能外，F(xiàn)PG8601還實(shí)現(xiàn)了全自動(dòng)控制；合理的尺寸和重量，在典型的高端計(jì)量實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下均可正常工作，沒有額外要求。

支持表壓、絕壓和絕差壓測量

FPG8601支持三種不同的測量模式：

· 表壓模式：把FPG8601的下方壓力室和測試的“低”側(cè)連接在一起，并和環(huán)境大氣壓相同。

· 絕壓模式：FPG8601的下方壓力室被抽成真空，并用真空計(jì)測量殘留真空。這種模式用于校準(zhǔn)密封絕壓的DUT。

· 絕差壓模式：把FPG8601的下方壓力室和測試的“低”測連接在一起并抽成真空。這種模式用于校準(zhǔn)相對于真空的差壓被檢對象。

此外，，FPG8601沒有特殊環(huán)境要求，可安裝在2m長的高質(zhì)量實(shí)驗(yàn)臺上。壓力控制器常常安裝在試驗(yàn)臺下方。當(dāng)需要使用絕壓功能時(shí)，，需要考慮真空泵的位置。如果需要，可以隨系統(tǒng)提供定制的安裝臺。其工作環(huán)境要求為典型的高端計(jì)量實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。

工作原理
FPG 8601采用了活塞式壓力計(jì)原理：加到活塞缸有效面積上的壓力被轉(zhuǎn)換為成比例的力。然而，壓力產(chǎn)生的力并不是與重力加速度引起的重量相平衡的，而是由活塞所在的力平衡壓力傳感器測得的�；钊滋醉敳亢偷撞堪惭b了壓力室，可改變被用來定義壓力的參考壓力（對于表壓來說是大氣壓，對于絕壓來說是真空）。在常壓下利用高壓室和低壓室調(diào)零壓力傳感器，剔除活塞的重量以及其它非所測壓力的壓力因素，，使測量壓力從零開始。根據(jù)活塞缸的有效面積和壓力傳感器測得的凈壓力值即可計(jì)算出差壓值。

為了避免通過在汽缸中旋轉(zhuǎn)活塞來確定其中心的不穩(wěn)定性和機(jī)械方面的復(fù)雜性，，FPG8601活塞是通過缸體-活塞縫隙中獨(dú)立流通的潤滑氣壓來確定中心的。縫隙呈圓錐形，，收縮面對稱朝向活塞末端。缸體－活塞縫隙為1～6 mm，潤滑壓力比參考壓力大40 kPa，保證流入到測量室的氣流非常�。ǖ陀诳偭康�1 sccm）。活塞兩端的壓力通過一個(gè)萬向節(jié)連接系統(tǒng)傳遞到壓力傳感器，，該系統(tǒng)將活塞保持在其重心。連接系統(tǒng)的通路也用來提供缸體－活塞潤滑氣。壓力傳感器被封閉在一個(gè)密封室內(nèi)，潤滑氣通過該密封室流通。壓力傳感器密封室的設(shè)計(jì)有利于保持恒溫，并且潤滑氣的相對濕度被保持在40～70 %之間，從而使壓力傳感器的性能達(dá)到最佳。

優(yōu)異的測量不確定度
該系統(tǒng)在表壓和絕壓模式下覆蓋的量程均為0（絕壓為0.5 Pa）～15 kPa（2.2 psi）。測量不確定度為讀數(shù)的±30 ppm與一個(gè)非常小的門限誤差的組合，足夠小以能夠校準(zhǔn)量程低達(dá)130 Pa (1 Torr，0.5 in. H2O)甚至13 Pa (100 mTorr，0.05 in. H2O)的各種微壓傳遞標(biāo)準(zhǔn)。 DHI有一份完整的不確定度分析報(bào)告（請參見DHI技術(shù)文章 2090TN05）說明FPG8601的測量不確定度。該儀器的穩(wěn)定度取決于碳化鎢活塞組和不銹鋼砝碼，所以FPG8601的校準(zhǔn)間隔與傳統(tǒng)的活塞式壓力計(jì)相同，，并沒有其它特殊的維護(hù)要求。除了卓越的計(jì)量性能外，F(xiàn)PG8601還實(shí)現(xiàn)了全自動(dòng)控制；合理的尺寸和重量，在典型的高端計(jì)量實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下均可正常工作，沒有額外要求。

全自動(dòng)的力平衡控制
FPG8601壓力控制器通過調(diào)整限流閥的氣流進(jìn)行工作。限流閥的上游側(cè)被連接到上方的FPG壓力室，下游側(cè)被連接到下方的FPG8601的壓力室，并連接到大氣壓，或在絕壓工作模式下連接到獨(dú)立的真空源。

控制器中有幾個(gè)具有不同導(dǎo)電系數(shù)的節(jié)流閥，并自動(dòng)選擇與相應(yīng)的壓力量程相匹配的一個(gè)。有2個(gè)質(zhì)量流量控制器（MFC），其中1個(gè)用于壓力粗調(diào)，另1個(gè)用于壓力精調(diào)，MFC并聯(lián)用于調(diào)整反饋環(huán)路中的流量。根據(jù)壓力設(shè)置點(diǎn)和 FPG8601壓力測量值之差進(jìn)行控制。有一個(gè)兩級的壓力調(diào)節(jié)器，其第二級以節(jié)流閥的下游側(cè)為參考，它為質(zhì)量流量控制器提供了一個(gè)穩(wěn)定的輸入壓力。FPG8601 包括一個(gè)基于Windows的系統(tǒng)控制器。系統(tǒng)控制器與FPG8601硬件及被測設(shè)備進(jìn)行通信。FPG Tools軟件監(jiān)測和控制FPG8601的工作，并支持多種高級功能，包括全自動(dòng)工作、無值守測試程序并采集被測設(shè)備數(shù)據(jù)。所有的FPG8601和被測設(shè)備的數(shù)據(jù)均被記錄為逗號分隔的數(shù)據(jù)文件，，可方便地下載至其它應(yīng)用程序進(jìn)行分析。

以下為FPG Tools軟件的部分功能：

· 改變測量模式（表壓/絕壓）

· 壓力傳感器自動(dòng)調(diào)零，并自動(dòng)設(shè)置跨距

· 調(diào)整數(shù)據(jù)點(diǎn)平均時(shí)間

· 工作狀態(tài)發(fā)生過大變化時(shí)自動(dòng)報(bào)警

· 在低絕壓模式下進(jìn)行熱蒸發(fā)修正

· 被測設(shè)備設(shè)置

· 測試程序定義和儲存

· 全自動(dòng)測試

· 實(shí)時(shí)繪制測試結(jié)果

技術(shù)資料
電源要求	FPG8601：85～264VAC，50/60 Hz，，最大60 VA VLPC：85～264 VAC，50/60 Hz，最大70 VA
正常工作溫度范圍	20～26℃
環(huán)境溫度穩(wěn)定性	0.1℃/每分鐘，最大變化率
重量	FPG8601平臺：30 kg (66 lb) FPG8601終端：2 kg (4.4 lb)
VLPC壓力控制器	41 kg (90.4 lb)
尺寸	FPG8601平臺：53 cm高×36 cm寬×35 cm深 FPG8601終端：12 cm高×15 cm寬×20 cm深 VLPC壓力控制器：31 cm高×51 cm寬×53 cm深
系統(tǒng)控制器	運(yùn)行FPG Tools，Windows操作系統(tǒng)，RS232和IEEE-488接口，用于采集FPG和DUT的數(shù)據(jù)
全壓力量程	0～15 kPa表壓、絕壓、絕差壓
測試介質(zhì)	氮?dú)饣蚩諝?
模式轉(zhuǎn)換時(shí)間	絕壓至表壓模式：30分鐘表壓至絕壓模式：1小時(shí)
振動(dòng)	與傳統(tǒng)的活塞式壓力計(jì)相同，真空泵必須用軟管連接
壓力供給	活塞－套筒潤滑氣(FPG8601)：700～800 kPa，清潔、干燥的氮?dú)饣蚩諝?
	FPG參考真空（絕壓模式）：渦輪泵：典型值為378 m3/h，極限壓力為8.10-6 Pa
	回轉(zhuǎn)式葉片泵：16.5 m3/h，極限壓力為0.2 Pa
	VLPC壓力源：700～800 kPa，清潔、干燥的氮?dú)?
	VLPC真空：10 m3/h @ 0.5 Pa
	驅(qū)動(dòng)氣（FPG8601和VLPC）：400～700 kPa壓縮空氣
壓力連接	測試高（FPG8601）：KF16 測試低（FPG8601）：KF16 真空參考（FPG8601）：KF25 真空（FPG8601）：1/8 in. NPT F 驅(qū)動(dòng)/潤滑（FPG8601）：1/8 in. NPT F 壓力源（VLPC）：S1/8 in. NPT F 驅(qū)動(dòng)（VLPC）：1/8 in. NPT F 真空（VLPC）：KF25

壓力測量
全量程	0～15 kPa表壓、絕壓、絕差壓
溫度影響	監(jiān)測儀器溫度，并在溫度變化的速率和大小對性能影響明顯時(shí)，發(fā)出報(bào)警。
分辨力	標(biāo)準(zhǔn)：0.010 Pa 高分辨力選件：0.001 Pa
典型壓力測量不確定度	標(biāo)準(zhǔn)：表壓、絕差壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm讀數(shù)) 絕壓模式：± (0.025 Pa + 30 ppm讀數(shù))
典型壓力測量不確定度	高分辨力選件：表壓、絕差壓模式：± (0.005 Pa + 30 ppm讀數(shù)) 絕壓模式：± (0.008 Pa + 30 ppm讀數(shù))
絕對模式下的典型殘留真空	用渦輪分子泵：0.04～0.1 Pa 用回轉(zhuǎn)式葉片泵：0.3 Pa～0.4 Pa

壓力控制
控制范圍（Pa）	表壓模式：5個(gè)交疊的控制范圍最小壓力：0 最小受控壓力：0.1 Pa
控制范圍（Pa）	絕壓模式：5個(gè)交疊的控制范圍最小壓力：0.4～1 Pa 最小受控壓力：2 Pa
控制精度	標(biāo)準(zhǔn)：表壓模式：± (0.020 Pa + 100 ppm量程) 絕壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm量程) 高分辨力選件：表壓模式：± (0.005 Pa + 60 ppm量程) 絕壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm量程) 注：控制精度為最差情況。絕壓模式在較低范圍時(shí)的常數(shù)更小。
標(biāo)稱測試容積	表壓模式：最高20 cc/側(cè)（高和低）絕壓模式：最高500 cc/側(cè)（高和低）壓力穩(wěn)定時(shí)間：1～2分鐘，取決于測試容積

活塞模塊
標(biāo)稱尺寸	直徑：35 mm 面積：10 cm2
活塞材料	碳化鎢
套筒材料	碳化鎢
安裝系統(tǒng)	非旋轉(zhuǎn)，獨(dú)立自定心，中央供氣，潤滑壓力
活塞－套筒間隙	對稱圓錐形間隙，，雙錐形，在中央潤滑點(diǎn)為6微米，在活塞末端為1微米
潤滑氣體質(zhì)量	清潔、干燥的氨氣或空氣，內(nèi)部調(diào)整為40～70 %相對濕度
潤滑氣體壓力	表壓模式：40 kPa表壓絕壓模式：40 kPa絕壓潤滑氣流量：< 1 sccm至高和低壓力室

輔助測量
活塞－缸體溫度(℃)	范圍：0～40 分辨率：0.01 不確定度：± 0.1
殘留真空(Pa)	范圍：0～13 分辨率：0.001 不確定度：± (0.5 %讀數(shù)+ 5 MPa)

監(jiān)控測量
潤滑氣體溫度(℃)	范圍：0～40 分辨率：0.1 不確定度：± 0.2
潤滑氣壓力(kPa)	范圍：0～200絕壓分辨率：0.001 不確定度：± 0.1
潤滑氣濕度(%RH)	范圍：5～95 分辨率：1 不確定度：± 10

型號	描述
FPG8601-SYS	具有標(biāo)準(zhǔn)分辨率的微壓塞式壓力計(jì)系統(tǒng)

通用配件:

配件	描述
FPG8601-MODE-V-REF	真空參考模式
MS-8601-2	2.0kg砝碼套件，帶掛鉤
BENCH-8601-ABS	FPG8601工作臺
FPG8601-RES-HIGH	高分辨率(1 mPa)


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