林芝音速噴嘴流量元件-molbloc-S-美國(guó)FLUKE
基于音速噴嘴的molbloc,氣流最高可達(dá)5,000 slm
molbloc-S® 是一種高精確度的傳送標(biāo)準(zhǔn),適用于校準(zhǔn)其他傳送標(biāo)準(zhǔn)或過(guò)程流量計(jì)和控制器。molbloc-S 與 molbox1+ 或 molbox RFM™ 終端配合,可擴(kuò)展 molbloc/molbox™ 校準(zhǔn)系統(tǒng)的量程,并且為中高流量提供出眾的準(zhǔn)確度,F(xiàn)有的 molbox1 終端配備了 4.0 或更高版本的嵌入軟件,而所有 molbox1+ 終端都能與 molbloc-S 結(jié)合使用。
特性一覽
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對(duì)于 N2 和空氣,覆蓋高達(dá) 5,000 slm 的量程
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可與 molbox1+ 或現(xiàn)有的 molbox1 和 molbox RFM 質(zhì)量流量終端以及 COMPASS 軟件結(jié)合使用
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重量校準(zhǔn)支持可靠的流量文氏管(音速)噴嘴操作原則
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污染物敏感度極低
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測(cè)量不確定度:
對(duì)于 molbox1+,可達(dá)到 ±0.125% 讀數(shù)
對(duì)于 molbox1,可達(dá)到 ±0.2% 讀數(shù)
對(duì)于 molbox RFM,可達(dá)到 ±0.5% 讀數(shù)
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可以使用空氣、N2、Ar、H2、He、N2O 和其他校準(zhǔn)氣體,,可以對(duì)環(huán)境氣體進(jìn)行潮濕氣體密度補(bǔ)償
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利用 molbox1+S 或其他 molbox 型號(hào)加上真空,可實(shí)現(xiàn)卓越的量程可調(diào)性(10:1 調(diào)節(jié))。
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冗余的上游絕壓測(cè)量使用 molbox 絕壓傳感器來(lái)降低不確定度并提高可靠性
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完整的氣體溫度調(diào)節(jié)和測(cè)量
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連續(xù)、實(shí)時(shí)的讀數(shù),就像傳統(tǒng)的 molbloc-L 層流元件一樣
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可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)
molbloc-S量程
通過(guò) molbloc-S 的質(zhì)量流速可直接與上游絕壓以及獨(dú)立的下游壓力或壓力差成比例。molbloc-S 流量量程由 molbloc 的壓力到流量轉(zhuǎn)化率 KF 定義。KF 的單位為 sccm/kPa,它定義了質(zhì)量流量與傳送到 molbloc-S 的上游絕壓之間的關(guān)系。molbloc-S 校準(zhǔn)工作是針對(duì)與 20 到 200 kPa(3 到 30 psia)、50 到 500 kPa(7 到 70 psia)或 200 kPa 到 2 MPa(30 到 300 psia)的上游壓力相對(duì)應(yīng)的量程執(zhí)行的。
為了使流量測(cè)量有效,molbloc-S 文丘管?chē)娮焯幍牧髁渴亲钪匾,例如,氣體速度等同于本地音速。當(dāng)背壓率足夠低時(shí)可以達(dá)到關(guān)鍵流量,或保持 BPR 不變(molbloc-S 下游絕壓除以上游絕壓)。關(guān)鍵流量可接受的 molbloc-S BPR 值的上限介于 0.5 和 0.9 之間,具體取決于流量的雷諾數(shù)。
由于通過(guò) molbloc-S 的質(zhì)量流量與上游絕壓成比例,molbloc-S 的流量量程在應(yīng)用中的限值受 BPR 限值的影響。要使 molbloc-S 元件的量程最大化,必須在下游連接一個(gè)真空泵,減少流動(dòng)時(shí)的下游壓力。當(dāng)下游壓力足夠低時(shí),就可以將上游壓力以及質(zhì)量流速調(diào)節(jié)到針對(duì) molbloc 校準(zhǔn)類型的最小值,而不再受 BPR 限值的限制。如果 molbloc-S 使用大氣壓作為下游(無(wú)真空泵),則molbloc 所使用的上游壓力必須介于其校準(zhǔn)類型的最大壓力到當(dāng) BPR 等于當(dāng)前雷諾數(shù)下的 BPR 限值時(shí)的最小壓力之間。molbox1 終端包括了一些功能,可測(cè)量 BPR,在 BPR 值過(guò)高時(shí)自動(dòng)提示操作人員,避免在流量非關(guān)鍵時(shí)進(jìn)行測(cè)量。
molbloc/molbox通用技術(shù)指標(biāo)
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molbox1+
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molbox RFM
除非另行說(shuō)明,否則所有技術(shù)指標(biāo)均與molbox1相同。
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正常工作溫度范圍:
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15到35°C
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儲(chǔ)存溫度范圍:
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-25到35°C
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正常工作壓力范圍:
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20到200 kPa絕壓(3到30 psia);或50到500 kPa絕壓(7到70 psia)上游;或200到2000 kPa(30到300 psia),僅適用于molbox1+S。
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總流量量程:
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<1到5,000 slm
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入口連接:
1E1-S到1E2-S
2E2-S到2E3-S
5E3-S和1E4-S
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1/4 in. VCR™
1/2 in. VCR™
1 in. VCR™或1 in. NPT
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出口連接:
5E1-S到2E3-S
5E3-S、1E4-S
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16 mm (3/4 in.) ISO-KF型真空法蘭盤(pán)
40 mm (1 1/2 in.) ISO-KF型真空法蘭盤(pán)
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支持的氣體:
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氮?dú)?N2)、干空氣、潮濕空氣、氬(Ar)、一氧化碳(CO)、氦(He)、氧氣(O2)、二氧化碳(CO2)、四氟化碳(CF4)、乙烷(C2H6)、乙烯(C2H4)、三氟甲(CHF3)、六氟乙烷(C2F6)、氫氣(H2)、甲烷(CH4)、一氧化二氮(N2O)、丙烷(C3H8)、六氟化硫(SF6)、丁烷(C4H10)、八氟環(huán)丁烷(C4F8)、氙氣(Xe)
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流量測(cè)量
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范圍:
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取決于molbloc的尺寸和壓力校準(zhǔn)量程(請(qǐng)參閱molbloc-S量程表格)
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所需背壓率:
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0.4到0.9,取決于雷諾數(shù)
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校準(zhǔn)氣體:
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標(biāo)準(zhǔn):干空氣
可選:N2(取代標(biāo)準(zhǔn)空氣校準(zhǔn)或作為補(bǔ)充)、Ar、H2、He、N2O。有關(guān)這些氣體和其他氣體在特定量程內(nèi)的可用性,請(qǐng)咨詢廠家。
*濕空氣操作需要進(jìn)行干空氣校準(zhǔn)
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molbloc-S壓力校準(zhǔn)量程:
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低壓力(LP):
20到200 kPa絕壓(3到30 psia),上游
標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP):
50到500 kPa絕壓(7到70 psia),上游
高壓力(HP):
200到2 MPa絕壓(30到300 psia),,上游
* HP校準(zhǔn)僅適用于molbox1+S終端
*流量測(cè)試技術(shù)指標(biāo)在10%到100% molbloc量程內(nèi)有效
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分辨率:
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±0.0015% FS
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±0.01%讀數(shù)
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精確度:
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讀數(shù)的±0.06%
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±0.30%讀數(shù)
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預(yù)測(cè)的穩(wěn)定度(一年期)
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讀數(shù)的±0.05%
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讀數(shù)的±0.2%
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測(cè)量不確定度
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讀數(shù)的±0.2%
特級(jí)校準(zhǔn):±0.125%讀數(shù)
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50到500 kPa時(shí),±0.5%讀數(shù)
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型號(hào)
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描述
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1E1-S
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KF [sccm/kPa]:
10
每個(gè)molbloc-S在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容:
· molbloc-S流元素
· 運(yùn)輸和存儲(chǔ)箱
· 用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說(shuō)明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說(shuō)明
· 標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn),并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告。
溢價(jià)的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。
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2E1-S
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KF [sccm/kPa]:
20
每個(gè)molbloc-S在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容:
· molbloc-S流元素
· 運(yùn)輸和存儲(chǔ)箱
· 用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說(shuō)明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說(shuō)明
· 標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn),并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告。
溢價(jià)的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。
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5E1-S
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KF [sccm/kPa]:
50
每個(gè)molbloc-S在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容:
· molbloc-S流元素
· 運(yùn)輸和存儲(chǔ)箱
· 用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說(shuō)明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說(shuō)明
· 標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn),并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告。
溢價(jià)的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。
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1E2-S
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KF [sccm/kPa]:
100
每個(gè)molbloc-S在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容:
· molbloc-S流元素
· 運(yùn)輸和存儲(chǔ)箱
· 用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說(shuō)明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說(shuō)明
· 標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn),,并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告。
溢價(jià)的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。
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2E2-S
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KF [sccm/kPa]:
200
每個(gè)molbloc-S在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容:
· molbloc-S流元素
· 運(yùn)輸和存儲(chǔ)箱
· 用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說(shuō)明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說(shuō)明
· 標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn),并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告。
溢價(jià)的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。
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5E2-S
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KF [sccm/kPa]:
500
每個(gè)molbloc-S在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容:
· molbloc-S流元素
· 運(yùn)輸和存儲(chǔ)箱
· 用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說(shuō)明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說(shuō)明
· 標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn),并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告。
溢價(jià)的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。
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1E3-S
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KF [sccm/kPa]:
1000
每個(gè)molbloc-S在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容:
· molbloc-S流元素
· 運(yùn)輸和存儲(chǔ)箱
· 用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說(shuō)明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說(shuō)明
· 標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn),并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告。
溢價(jià)的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。
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2E3-S
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KF [sccm/kPa]:
2000
每個(gè)molbloc-S在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容:
· molbloc-S流元素
· 運(yùn)輸和存儲(chǔ)箱
· 用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說(shuō)明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說(shuō)明
· 標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn),并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告。
溢價(jià)的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。
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5E3-S
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KF [sccm/kPa]:
5000
每個(gè)molbloc-S在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容:
· molbloc-S流元素
· 運(yùn)輸和存儲(chǔ)箱
· 用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈;ISO-KF和安裝說(shuō)明;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說(shuō)明
· 標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn),并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告。
溢價(jià)的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。
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1E4-S
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KF [sccm/kPa]: 10,000
每個(gè)molbloc-S在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容:
· molbloc-S流量元素
· 運(yùn)輸和存儲(chǔ)箱
· 用于molbloc上游連接的柔軟的,可重復(fù)使用的VCR O形圈;用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán);安裝說(shuō)明
· 處于標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn),具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告。
· 高度的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。
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molbloc-S校準(zhǔn)選件
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低壓20到200 kPa(3到30 psia)
molbloc上游(指定溢價(jià)或標(biāo)準(zhǔn))
標(biāo)準(zhǔn)壓力50到500 kPa(7到70 psia)
molbloc上游(指定溢價(jià)或標(biāo)準(zhǔn))
高壓200到2000 kPa(30到300 psia)
molbloc上游(指定溢價(jià)或標(biāo)準(zhǔn))
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